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酸堿性質(zhì)的氣體:

        首先將待處理氣瓶連接到氣體控制面板上,使用氮氣置換pigtail部分,然后通過控制面板減壓并控制流量,將需要處理的氣體通入相應的洗滌塔,氣體通過洗滌塔的塔身內(nèi)部,塔身內(nèi)壁為酸/堿水霧,堿性/酸性氣體穿過水霧時和水霧中的酸/堿產(chǎn)生中和反應生成鹽。酸性氣體通入到堿洗滌塔,和洗滌塔中的堿進行酸堿反應生成鹽分,堿性氣體通入酸性洗滌塔。
適用氣體:

       堿性氣:NH3

       酸性氣:HCl、HBr、F2 Mix 、 HF、CL2、H2S、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、BCl3、SO2等。



 

可燃分解類氣體:

        首先將待處理氣瓶連接到氣體控制面板上,使用氮氣置換pigtail部分,然后通過控制面板減壓并控制流量,將需要焚燒的氣體通入焚燒爐,使其燃燒或高溫分解,降解為無害物質(zhì)或者分解成可以被酸堿中和的物質(zhì),燃燒后的尾氣被送入除塵設備除塵,然后被送入洗滌設備進行中和反應。

適用氣體:

       可燃分解類氣體:SiH4、PH3、PH3 Mix、B2H6、CH4、H2、 NF3、SF6等。